下载光学半导体器件及其制造方法的技术资料

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一种光学半导体器件,其被提供有被形成在低浓度p型硅衬底(1)上的低掺杂浓度的n型外延层(第二外延层)(24);通过离子注入或类似方法被选择性地形成在n型外延层(24)中的低掺杂浓度的p型阳极层(第一扩散层)(25);被形成在阳极层(25)上...
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