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本发明提供一种半导体制造装置及半导体器件的制造方法，通过适当地设定蓝宝石衬底的预热工序中的预热条件，可顺利地进行蓝宝石衬底的吸引保持。该半导体制造装置具备：加热板，其使蓝宝石衬底在大气中升温；支承部，其使蓝宝石衬底的背面与加热板相对，并隔开...
该专利属于OKI半导体株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过OKI半导体株式会社授权不得商用。

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