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制备发光二极管光子晶体的装置制造方法及图纸
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文档序号:3232103
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制备发光二极管光子晶体的装置,涉及一种发光二极管,尤其是涉及一种用全息技术在发光二极管中制备二维光子晶体的装置。提供一种成本低、速度快,用全息的方法制备光子晶体掩膜层的装置。设有激光器,扩束滤波器设于激光器输出光轴上,准直透镜设于扩束滤波器...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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