下载一种芯片管座加热方法及装置的技术资料

文档序号:32319801

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本发明涉及芯片制造技术领域,具体涉及一种芯片管座加热方法及装置;放置槽与加热室滑动连接,第一隔热层与加热室固定连接,滑动板与加热室滑动连接,电磁板与滑动板固定连接,导磁条与电磁板固定连接,第二隔热层与放置槽固定连接,加热灯板与第二隔热层拆卸...
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