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用于送入/取出基板的方法及系统和感光层叠体制造设备技术方案
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下载用于送入/取出基板的方法及系统和感光层叠体制造设备的技术资料
文档序号:3231717
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基板冷却部分(30)设置在粘接部分(29)的下游,粘接部分(29)将感光薄片(7)粘接到玻璃基板(3),以便生成粘接基板(20)。基板冷却部分(30)包括具有多个基板储存室(76)的粘接基板储存设备(68),每个基板储存室(76)都储存粘接...
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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