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本发明提供一种检测通孔阻挡层是否穿透的方法，该方法使用关键尺寸扫描电子显微镜检测通孔阻挡层是否穿透，其包括：所述电子显微镜扫描所述通孔上方的步骤，该步骤透过通孔得到通孔底部的顶视图；量测通孔关键尺寸的步骤，该步骤通过上述顶视图量测通孔的关键...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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