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基底可被重复使用的结构及其处理方法技术
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文档序号:3231194
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本发明公开了一种基底可被重复使用的结构及其处理方法。在基底与至少一层外延层之间形成至少一层分离层。使用本发明的方法,提供一种分离方式使对应的分离层发生反应而分解,以使基底与外延层中的一层分离,从而达到基底可重复使用的目的,因而能降低成本,也...
该专利属于苏住裕;陈宏任所有,仅供学习研究参考,未经过苏住裕;陈宏任授权不得商用。
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