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本实用新型公开了一种静电卡盘功能测试装置，旨在提供一种能及时了解静电卡盘的工作状态，掌握晶体表面吸附力大小和温度，以及腔室体内环境的各种参数指标的检测装置。它由驱动装置、传动装置、传感装置、卡盘基座、空压装置和腔室体组成，传动装置安装于腔室...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。