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中国科学院理化技术研究所
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测温结点悬浮的薄膜热电偶制造技术
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下载测温结点悬浮的薄膜热电偶的技术资料
文档序号:3229907
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一种测温结点悬浮的薄膜热电偶,包括由固体绝缘材料制做的永久性基底(1)、热电偶薄膜(3)和热电偶薄膜(4),其特征在于,所述热电偶薄膜(3)和热电偶薄膜(4)分别镀覆于永久性基底(1)的表面上,其相重叠的测温结点(5)与永久性基底(1)表面...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。
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