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本发明涉及磷化铟晶体技术领域，尤其涉及一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺，所述输送磷化铟晶体的设备，包括，工业机器人、设置在所述工业机器人的主轴上方的清洁部和设置在所述工业机器人机械手端部的连接部，所述连接部包括连接轴和与所述连接轴连接的夹...
该专利属于常州德匠数控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州德匠数控科技有限公司授权不得商用。

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