一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺制造技术

本发明专利技术涉及磷化铟晶体技术领域，尤其涉及一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺，所述输送磷化铟晶体的设备，包括，工业机器人、设置在所述工业机器人的主轴上方的清洁部和设置在所述工业机器人机械手端部的连接部，所述连接部包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持部，所述连接轴包括轴体、设置在所述轴体端部的若干台阶轴和卡接在尺寸最小的所述台阶轴上的卡套，所述夹持部与所述台阶轴过盈连接，若干所述台阶轴的侧壁上均开设有若干通孔，所述卡套上固定连接有适于卡在所述通孔上的台阶杆，所述连接轴内还设有弹性夹，所述弹性夹抵住所述台阶杆设置，以固定所述台阶杆。以固定所述台阶杆。以固定所述台阶杆。

【技术实现步骤摘要】
一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺


[0001]本专利技术涉及磷化铟晶体
，尤其涉及一种输送磷化铟晶体的设备及检测工艺。

技术介绍

[0002]在中国专利CN213287900U的专利中，公开了一种磷化铟晶体生长除杂装置，包括固定底板，所述固定底板的顶部固定连接有水箱，所述水箱的右侧固定连接有导管，所述导管的外部固定安装有控制阀，所述固定底板的顶部固定连接有位于水箱外侧的支撑板，所述支撑板的内侧固定连接有顶板，所述顶板的顶部固定安装有电动推杆，所述顶板的顶部固定安装有位于电动推杆左侧的控制台。该磷化铟晶体生长除杂装置，通过操作控制台启动电动推杆向下延伸推动层板，当传动杆位于水箱顶部开设的开口内侧时关闭电动推杆，此时隔网位于水箱的内部，然后启动驱动马达带动侧板旋转，从而对磷化铟晶体进行除杂。
[0003]但是上述专利虽然能够除杂，但是还需要通过机械手抓取，进行进一步的检测，保证磷化铟晶体的质量。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是：为了克服上述技术中的技术问题之一，本专利技术提供了一种输送磷化铟晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，包括，输送线，设置在所述输送线一侧的工业机器人、设置在所述工业机器人的主轴上方的清洁部和设置在所述工业机器人机械手端部的连接部，所述连接部包括连接轴和与所述连接轴连接的夹持部，所述连接轴包括轴体、设置在所述轴体端部的若干台阶轴和卡接在尺寸最小的所述台阶轴上的卡套，所述夹持部与所述台阶轴过盈连接，若干所述台阶轴的侧壁上均开设有若干通孔，所述卡套上固定连接有适于卡在所述通孔上的台阶杆，所述连接轴内还设有弹性夹，所述弹性夹抵住所述台阶杆设置，以固定所述台阶杆。2.如权利要求1所述的一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，所述通孔的数量为两个，所述弹性夹呈V形，其中，所述弹性夹的尺寸与所述通孔尺寸适配。3.如权利要求2所述的一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，所述弹性夹远离所述连接轴轴线的一面设有清洁刷。4.如权利要求3所述的一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，所述台阶轴内开设有安装槽，其中，所述弹性夹设置在所述安装槽内。5.如权利要求4所述的一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，所述安装槽内还设有安装座，其中，所述安装座的两侧设有与所述弹性夹适配的固定槽。6.如权利要求1所述的一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，所述夹持部包括夹持板、开设在所述夹持板上的定位孔和设置在所述夹持板上的焊接头，其中，所述定位孔与其中一个所述台阶轴适配，以将所述夹持板上的定位孔过盈连接在所述台阶轴上。7.如权利要求1所述的一种输送磷化铟晶体的设备，其特征在于，所述清洁部包括清洁盘、转动设置在所述清洁盘上的刮板、固定在所述刮板上的气囊和与所述气囊连通的吹龙棒，以及，所述刮板适于将所述主轴上的杂质刮除，所述吹龙棒靠近所述主轴的一端设有喷嘴，所述吹龙棒远离所述主轴的一端设有清洁棉，所述清洁盘上还设有挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘功寰，顾正伟，
申请(专利权)人：常州德匠数控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：