下载一种隔离导向件及衬底处理设备的技术资料

文档序号:32298385

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本实用新型涉及隔离导向件,所述隔离导向件包括:多个主体,所述多个主体分散设置在所述上顶的侧壁处,用于所述上顶在水平方向的防接触破裂保护;所述主体包括:第一端、第二端、以及位于所述第一端和第二端之间的非端部;所述第二端包括导向端,所述导向端的...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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