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本发明公开了一种感应等离子热解硅烷制备纳米硅粉的方法，步骤为：将工作气体在感应等离子反应器中激发形成稳定的高温等离子体，将气体硅烷与稀释气体混合注入高温等离子体热场中，气体硅烷在高温等离子体热场的热气流高温循环冷却气流的共同作用下分解，热解...
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