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本发明实施例提供的微环调制器,包括:衬底层;位于所述衬底层上的平板波导层;并列设置在所述平板波导层中的耦合波导及微环谐振结构,所述微环谐振结构包括沿所述衬底层厚度方向依次层叠设置的第一掺杂结构和第二掺杂结构,所述第一掺杂结构与所述第二掺杂结...该专利属于武汉光谷信息光电子创新中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光谷信息光电子创新中心有限公司授权不得商用。
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本发明实施例提供的微环调制器,包括:衬底层;位于所述衬底层上的平板波导层;并列设置在所述平板波导层中的耦合波导及微环谐振结构,所述微环谐振结构包括沿所述衬底层厚度方向依次层叠设置的第一掺杂结构和第二掺杂结构,所述第一掺杂结构与所述第二掺杂结...