下载一种平板探测器及其制造方法的技术资料

文档序号:32294124

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本发明提供一种平板探测器及其制造方法,其包括第一TFT、第二TFT、下电极、光电转换层以及上电极;所述第一TFT包括第一多晶硅、第二多晶硅、第三多晶硅、与第一多晶硅连接的第一漏极、与第二多晶硅连接的第一源极以及第三多晶硅上方的第一栅极;所述...
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