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文档序号:32294079

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本实用新型涉及分析仪器技术领域,具体而言,涉及一种真空装置。本实用新型提供的真空装置,包括外壳、导温盘、环形圆板、腔体及氦气制冷机。其中,腔体和导温盘分别安装于环形圆板的两面,且腔体的内腔与环形圆板的内圆相通;氦气制冷机的冷头贯穿腔体及环形...
该专利属于北京大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京大学授权不得商用。

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