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全自动上芯机制造技术
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文档序号:3229130
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本实用新型是一种全自动上芯机,该上芯机包括机架,机架下端固定有控制箱,顶端安装有晶圆台和送料槽,晶圆台下方安装有顶针,送料槽两端分别连接有上料器和下料器,并连接有勾爪和焊接臂,其上方安装有图像采集装置,下方安装有加热器,图像采集装置与控制箱...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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