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本实用新型一种提高太阳能电池产能制程装置，其包含：一真空加热腔体，该真空加热腔体设有加热器、分子涡流帮浦及干式帮浦；一真空等离子辅助化学气相沉积（ＰＥＣＶＤ）制程腔体，该真空等离子辅助化学气相沉积制程腔体设有气体供应装置、高频电极、分子涡流...
该专利属于仕贯真空科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过仕贯真空科技股份有限公司授权不得商用。

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