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本实用新型公开了一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置，包括用于擦拭的擦拭机构和用于配合所述擦拭机构进行循环的烘干机构以及用于辅助防尘的外固定机构，所述外固定机构内部设置有传送机构，所述传送机构之间设置有所述擦拭机构，所述擦拭机构上端连接有所述烘干...
该专利属于乡秋梅所有，仅供学习研究参考，未经过乡秋梅授权不得商用。

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