下载沟槽高压P型金属氧化物半导体管的技术资料

文档序号:3228004

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本实用新型公开了一种沟槽高压P型金属氧化物半导体管,包括兼做衬底的P型漏区,在P型漏区上设有P型外延,在P型外延上设有N型阱,在N型阱上设有P型源区和N型接触孔,在N型阱及P型外延内设有沟槽,在沟槽内填充有二氧化硅,在沟槽内还设有多晶硅栅且...
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