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本发明涉及一种压电薄膜压电系数的高通量测量方法，属于压电系数测量技术领域，该方法包括过程：制作包含有若干个层合悬臂梁的试件，其中每个层合悬臂梁上依次设置基底层、底部电极层、压电薄膜层以及顶部电极层；通过底部电极层和顶部电极层给压电薄膜层施加...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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