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一种接触式RFMEMS开关和电子设备制造技术
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下载一种接触式RFMEMS开关和电子设备的技术资料
文档序号:32278793
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本申请公开了一种接触式RF MEMS开关和电子设备,包括基底;设于基底上的滑动部件;设于基底内部用于驱动滑动部件移动的驱动部件;用于输出导通或断开信号的传输部件,传输部件包括至少一个接触导通部件;滑动部件于接触导通部件上滑动,并接触导通输出...
该专利属于深圳清华大学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳清华大学研究院授权不得商用。
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