一种接触式RFMEMS开关和电子设备制造技术

本申请公开了一种接触式RF MEMS开关和电子设备，包括基底；设于基底上的滑动部件；设于基底内部用于驱动滑动部件移动的驱动部件；用于输出导通或断开信号的传输部件，传输部件包括至少一个接触导通部件；滑动部件于接触导通部件上滑动，并接触导通输出开关信号。本申请的接触式RF MEMS开关包括基底、滑动部件、驱动部件和传输部件，传输部件包括接触导通部件，驱动部件驱动滑动部件在接触导通部件上进行滑动，从而实现接触导通输出开关信号，避免采用机械接触式的通断方式，避免热效应和部件的疲劳损伤对开关寿命造成不良影响，延长使用寿命；并且，通过滑动实现接触导通时，滑动的距离很小，仅几个微米，缩短开关状态的切换时间。缩短开关状态的切换时间。缩短开关状态的切换时间。

【技术实现步骤摘要】
一种接触式RF MEMS开关和电子设备


[0001]本申请涉及微电子
，特别是涉及一种接触式RF MEMS开关和电子设备。

技术介绍

[0002]RF MEMS(Radio Frequency Micro
‑
Electro
‑
Mechanical System，射频微机电系统)开关具有高线性度、低损耗、高隔离度等优异特性，在移动通信终端及系统、卫星通信系统、高性能相控阵雷达等领域具有广泛的应用前景。
[0003]目前常用的RF MEMS开关为静电驱动接触式RF MEMS开关，利用静电力驱动开关的打开和关闭，从而控制射频电流信号的通断。静电驱动接触式RFMEMS开关的结构示意图如图1所示，输入端9、上触点11、下触点12和悬臂梁10均为导电体，上触点11和下触点12组成输出端。通过控制上极板13、下极板14之间是否施加驱动电压，控制上触点11和下触点12的接触与分离，实现外界射频电流电路的接通和断开。
[0004]上触点和下触点容易在反复的碰撞中发生损伤，致使导通电阻增大，进而引起较强的热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接触式RF MEMS开关，其特征在于，包括：基底；设于所述基底上的滑动部件；设于所述基底内部用于驱动所述滑动部件移动的驱动部件；用于输出导通或断开信号的传输部件，所述传输部件包括至少一个接触导通部件；所述滑动部件于所述接触导通部件上滑动，并接触导通输出开关信号。2.如权利要求1所述的接触式RF MEMS开关，其特征在于，所述接触导通部件包括输入端部件和输出端部件，所述滑动部件的长度不小于所述输入端部件和所述输出端部件的距离，所述输入端部件和所述输出端部件位于所述滑动部件的滑动区域内，所述滑动部件滑动至所述输入端部件和所述输出端部件上时，所述输入端部件和所述输出端部件连通并输出“开”信号。3.如权利要求1所述的接触式RF MEMS开关，其特征在于，还包括：位于所述基底上表面的绝缘层。4.如权利要求3所述的接触式RF MEMS开关，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：向小健，李闯，黄轩宇，邓杨，聂锦辉，马明，郑泉水，
申请(专利权)人：深圳清华大学研究院，
类型：新型
国别省市：