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本实用新型涉及半导体材料技术领域，一种用于氮化物半导体材料退火的新型加热衬托。由石英支架（１０）、衬托（１１）、蓝宝石片（１２）、样品（１３）、热电偶（１４）组成，衬托（１１）位于石英支架（１０）之上，蓝宝石片（１２）位于衬托（１１）之上，...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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