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本发明公开了一种光学元件表面疵病二维自动检测方法，该方法包括以下步骤：1)使用显微成像头对光学元件表面缺陷进行扫描，完成高速图像采集和拼接处理；2)使用表面缺陷智能识别分析法和数据处理系统进行缺陷智能识别和量化分析，得到缺陷二维尺寸数据、位...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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