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槽形栅静电感应器件制造技术
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文档序号:3227574
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一种槽形栅静电感应器件,包括下层为型低阻层、上层为N-型高阻层的硅衬底片、源区及源电极金属层、栅区及栅电极、漏区及漏电极金属层,硅衬底片的上表面是N+型源区,硅衬底片的上表面上开有多于一条的槽,每条槽的底部是P+型栅区,硅衬底片的下层低阻层...
该专利属于李思敏所有,仅供学习研究参考,未经过李思敏授权不得商用。
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