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单光子雪崩二极管及单光子雪崩二极管阵列制造技术
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下载单光子雪崩二极管及单光子雪崩二极管阵列的技术资料
文档序号:32275437
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本发明提供一种单光子雪崩二极管,包括N型半导体埋层、主动区及N型堆栈层。主动区包括第一P型半导体井层、第一N型半导体井层、第二P型半导体井层、二个阳极及P型外延层。第一P型半导体井层配置于N型半导体埋层上,第一N型半导体井层配置于第一P型半...
该专利属于神盾股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过神盾股份有限公司授权不得商用。
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