下载坩埚结构、真空腔体以及真空镀膜机的技术资料

文档序号:32275110

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种坩埚结构、真空腔体以及真空镀膜机,所述坩埚结构,包括坩埚本体,所述坩埚本体上开设有承载镀膜材料的载物区,所述载物区包括若干个穴形坩埚的穴位孔以及至少一段环形坩埚的环形槽;其中,所述穴位孔与环形槽分别用于盛放不同种类的镀膜材料。...
该专利属于佛山市博顿光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。