温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型旨在揭示一种机械式晶圆固定装置整流环，其主要包括一整流环体，该整流环体上设有夹件，可配合承载盘以夹持晶圆，该整流环体径向设有开槽以供晶圆置入与取出，且整流环体外周设有复数个贯通孔，该贯通孔可供气流通过，因整流环体轴向均匀穿设有复数...
该专利属于志圣工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过志圣工业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。