下载硅片碱抛光用添加剂及其应用的技术资料

文档序号:32271346

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本发明公开了一种硅片碱抛光用添加剂,其各组分的含量为:0.5~2质量份明胶、1~2质量份丙烯酰胺、0.5~2质量份季铵盐、1~3质量份对氨基水杨酸钠、4~5质量份硫氰酸铵、3~4质量份烷基糖苷、0.1~0.3质量份苯甲酸钠、81.7~89....
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