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外触发触控传感阵列及其制备方法技术
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文档序号:32267832
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本发明涉及一种外触发触控传感阵列及其制备方法。所述外触发触控传感阵列包括:衬底;双栅薄膜晶体管阵列,位于所述衬底表面,包括呈阵列排布的多个双栅薄膜晶体管;下隔离柱,位于所述双栅薄膜晶体管阵列背离所述衬底的表面;底层柔性防静电薄膜,位于所述下...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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