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本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种防止晶圆破碎的阻挡装置，所述阻挡装置内设有气缸，该气缸的开口处设有活塞，且该活塞内侧的气缸中设有使活塞恢复位置的弹簧，在该弹簧所占位置的气缸侧边还开设有出气小孔。本实用新型的阻挡装置，能有效阻止第...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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