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一种金属－绝缘体－金属射频测试结构，包括底层金属层、绝缘体层和顶层金属层，在金属－绝缘体－金属射频测试结构的顶层金属上的第一区域内设置多个测试触点，所述测试触点尽可能多地分布在顶层金属上的第一区域内。本实用新型通过在金属－绝缘体－金属射频测...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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