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一种提高拼接法生长金刚石单晶拼接缝质量的方法技术
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文档序号:32265819
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本发明的一种提高拼接法生长金刚石单晶拼接缝质量的方法属于金刚石单晶生长技术领域,以金刚石单晶作为籽晶,将2片或多片籽晶拼接在一起得到金刚石单晶衬底;生长之前,在拼接缝处通过激光切割机均匀制造出多个缺陷;在MPCVD设备中生长金刚石单晶,人造...
该专利属于吉林大学深圳研究院所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学深圳研究院授权不得商用。
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