下载离子源引出缝调节控制系统的技术资料

文档序号:3226531

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本实用新型公开了一种离子源引出缝调节控制系统,包括主控制器、模拟量控制电路、直流电机、电位器和反馈控制驱动电路,其中模拟量控制电路一端通过光纤与主控制器连接,另一端与反馈控制驱动电路连接,反馈控制驱动电路与电机连接;模拟量控制电路将主控制器...
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