下载金属氧化物半导体场效应晶体管的技术资料

文档序号:3226519

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一种金属氧化物半导体场效应晶体管,包括一基底、间隙壁、源极与漏极延伸层及源极与漏极层。其中,基底上配置有栅极结构,而间隙壁位于此栅极结构的侧壁上。源极与漏极延伸层位于间隙壁以下的基底中,而源极与漏极层位于间隙壁以外的基底中。此外,源极与漏极...
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