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本发明涉及原子层沉积设备，其包括原子层沉积反应器(1)和反应器门(2)。反应器门(2)布置成在反应器(1)的关闭位置中紧靠反应器(1)的端部边缘(12)。设备包括用于冷却反应器门(2)的冷却布置，该冷却布置包括壳体结构(3)，该壳体结构(3...
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