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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种可快速安装料盘的旋转轴心，包括料盘，料盘上开设有中心盘孔，料盘通过中心盘孔可转动地安装在旋转轴上，所述旋转轴朝外的一端外周分别环绕开设有第一卡槽、第二卡槽和第三卡槽，所述旋转轴上套设有与料盘相贴合的限位...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

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