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硅电容压力传感器，包括极板构成的芯体，其特征是中心极板（１）分别和其上、下两块玻璃固定极板（２）、（２′）构成三层的全对称结构，形成两个电容；固定极板（２）、（２′）、玻璃底板（３）中心均有金属层（６）、均有导压孔（７），在孔（７）的内壁上...
该专利属于沈阳仪表科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳仪表科学研究院授权不得商用。

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