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一种增大静电电流有效流通面积的ESD防护器件制造技术
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文档序号:3226030
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本实用新型涉及一种静电放电防护器件。现有的可控硅SCR防静电的效果不理想。本实用新型的阱区上方设置有多晶硅层和SiO↓[2]氧化层。多晶硅层和SiO↓[2]氧化层的长度大于或等于N阱的P+注入区靠近P阱的侧面与P阱N+注入区靠近N阱的侧面之...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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