下载晶片分选搬运机构装置的技术资料

文档序号:3226000

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晶片分选搬运机构装置,由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、连接块A、连接块B、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成,步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上,机械手臂轴承固定在连接块A上,连接块A与高精度滑块的前端和固定...
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