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一种真空泵浦系统，包括多个真空泵（Ｐ１到Ｐ８），每个真空泵都用于从各自的负载锁定室（Ｃ１到Ｃ８）泵浦流体。为了降低泵出口处的流体压力并因此降低泵的功耗，从泵中排出的流体被输送到附加泵（Ｐ↓［ｅｘｈａｕｓｔ］），而该附加泵将泵浦所有的排出流体...
该专利属于英国氧气集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过英国氧气集团有限公司授权不得商用。

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