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本实用新型公开了一种电镀治具、电镀模块及电镀系统，电镀治具包括支撑板，所述支撑板包括至少一个用于放置电极的电极放置区，其特征在于，所述电镀治具还包括设置在所述支撑板上且与所述电极放置区中心同轴的中空结构的屏蔽环，所述屏蔽环用于对所述电极进行...
该专利属于上海新阳半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新阳半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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