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一种半导体晶片加工机台的基座制造技术
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文档序号:3225370
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一种半导体晶片加工机台的基座,它有一外围钢框体,其特征在于:在外围钢框体的凹腔中固定有一由若干根钢筋连接成的立体网格状整体式的内部骨架,立体网格状整体式内部骨架的周边与外围钢框体的内周壁接触部焊接固定在一起,在外围钢框体内灌充有填充物,填充...
该专利属于陈水源、陈水生、陈添丁所有,仅供学习研究参考,未经过陈水源、陈水生、陈添丁授权不得商用。
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