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本实用新型提供了一种用于研磨装置的精抛液供给装置,涉及研磨领域，包括存储罐、稀释罐和冷凝罐，所述稀释罐位于存储罐和冷凝罐之间，所述存储罐顶部的一侧设有进液口，所述冷凝罐一侧的下方设有出液口，所述存储罐、稀释罐和冷凝罐的底部均设有支撑座,所述...
该专利属于德阳精研科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德阳精研科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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