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本实用新型提供一种研磨垫调节器的缓冲结构，其首先安装在研磨垫调节器上，然后再将研磨金刚石盘安装到研磨垫调节器上；其中，该结构整体是一个圆形结构，该圆形结构从最外缘到圆心分别包括最外缘的一圈凸块结构，中部设置的弯折段，临近圆心的环形凸块以及中...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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