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本实用新型公开了一种晶体三极管铜线键合部位用的保护气体配比装置，它能向晶体三极管铜线键合部位提供气压和配比稳定的氢氮混合气体。该保护气体配比装置中氢气管道从进气口至出气口之间依次串接有第１调压阀、第１压力表、第１气流开关、压力阀和第１流量计...
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