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一种微细光束紫外光源制造技术
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下载一种微细光束紫外光源的技术资料
文档序号:3225005
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一种微细光束的紫外光源,将高压汞灯(2)设置在一半径为50-80mm的球面全反射镜(1)的球心,并以高压汞灯(2)的发光中心高度为水平光轴,其特征在于:在光轴上高压汞灯(2)的前方50-80mm处设置一隔热平镜(3),在隔热平镜(3)前方1...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。
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