一种微细光束紫外光源制造技术

一种微细光束的紫外光源，将高压汞灯（２）设置在一半径为５０－８０ｍｍ的球面全反射镜（１）的球心，并以高压汞灯（２）的发光中心高度为水平光轴，其特征在于：在光轴上高压汞灯（２）的前方５０－８０ｍｍ处设置一隔热平镜（３），在隔热平镜（３）前方１０－２０ｍｍ处放置一带通滤色镜（４），再将由两曲面相对放置的一对平凸透镜（５）和（６）组成的聚光部件安放在滤色镜的前方且距离汞灯９０－１２０ｍｍ处，该平凸透镜（５）和（６）之间的间隙为２－５ｍｍ；在平凸透镜（５）和（６）聚光部件的光束会聚处设置一兼作光阑的磁电式可控光闸（７），该光闸（７）是一在电磁线圈的铁芯上垂直向上粘接一硅片，该硅片上开有一直径为０．６－１．０ｍｍ的通孔，将该通孔与光轴同轴放置；电磁线圈的两端与计算机并口相接；光闸（７）前方１０－２０ｍｍ处再安放一对两曲面相对放置的平凸形耦合透镜（８）和（９），该两平凸形耦合透镜（８）和（９）之间的间隙为３－５ｍｍ；用于传导光束的石英光纤（１０）其数值孔径为０．２５－０．４０、纤芯直径为０．４－０．７ｍｍ、长度为１．０－２．０ｍ，该石英光纤（１０）的入射端设置在耦合透镜（９）的焦点位置，出射端放置一直径为０．０５－０．５ｍｍ的光阑（１１），在该光阑（１１）的前方１５３．０ｍｍ处放置一个数值孔径为０．２－０．６５的显微物镜（１２），则在显微物镜（１２）的焦面（１３）上可获得微米级紫外光束。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于快速成型
，特别是涉及用于微细加工的微细光束紫外光源。
技术介绍
据日本日刊工业新闻社1990出版的《光造形法》一书第61-70页介绍，立体光刻成型(Stereo Photo-Lithography)(又称之为快速成型)技术是20世纪80年代初开发出来的集CAD/CAM技术、激光应用技术和高分子功能材料科学于一体，能够快速地制造任意复杂的三维的一种新技术。该书在对相关技术介绍中，给出了其所用紫外光源的类型为波长为325纳米的He-Cd激光器和波长为488纳米的Ar离子激光器。但是，由于激光器及其运行费用较高，在一定程度上限制了光成型技术的推广应用；同时，未见对该技术是否可应用于微细加工领域的介绍，也未见就“微细光成型”技术可能应用的光源予以说明。据中国《光电工程》(Vol.24，No.2，1997，p1)和《应用光学》(Vol.1999.3，p34-36)介绍，在快速成型技术中可以利用“高压汞灯”来作为紫外光源。但是，有关的文献仅讨论了在普通模型制造中的应用，未见探讨在“微细光成型”技术中应用的可能性。据中国科学院长春光学精密机械研究所主办的《光学精密工程》(Vol本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微细光束的紫外光源，将高压汞灯(2)设置在一半径为50-80mm的球面全反射镜(1)的球心，并以高压汞灯(2)的发光中心高度为水平光轴，其特征在于在光轴上高压汞灯(2)的前方50-80mm处设置一隔热平镜(3)，在隔热平镜(3)前方10-20mm处放置一带通滤色镜(4)，再将由两曲面相对放置的一对平凸透镜(5)和(6)组成的聚光部件安放在滤色镜的前方且距离汞灯90-120mm处，该平凸透镜(5)和(6)之间的间隙为2-5mm在平凸透镜(5)和(6)聚光部件的光束会聚处设置一兼作光阑的磁电式可控光闸(7)，该光闸(7)是一在电磁线圈的铁芯上垂直向上粘接一硅片，该硅片上开有一直径为0....

【专利技术属性】
技术研发人员：王翔，沈连婠，胡玉禧，李川奇，
申请(专利权)人：中国科学技术大学，
类型：实用新型
国别省市：