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本实用新型公开了一种空腔型铂薄膜温度传感器，具体涉及微机电系统温度传感技术领域，所述的空腔铂薄膜温度传感器采用下至上依次设置的衬底、绝缘层、悬膜层、粘附层和铂薄膜层，所述绝缘层和悬膜层之间设置有空腔，所述悬膜层设置为桥式结构，且悬膜层两端部...
该专利属于苏州锐光科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州锐光科技有限公司授权不得商用。

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